光等离子净化器现在也被大家称为低温等离子净化器，该净化器设备在电催化总的设计概念下，主要是分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但是在原理上有它相似的地方。

光等离子净化器化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：

1.电场+电子→电子

2.电子+分子（或原子）→（受激原子、受激基团、游离基团）活性基团

3.活性基团+分子（原子）→生成物+热

4.活性基团+活性基团→生成物+热

光等离子净化器在进行外加电场的相关作用下，该净化器设备是可以进行介质放电从而可以产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使物质转变成或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得。作为环境污染处理领域中的一项具有潜在优势的高，等离子体受到了相关学科界的高度关注。