等离子体按粒子温度可分为平衡态（电子温度=离子温度）与非平衡态（电子温度>>离子温度）两类。
非平衡态等离子体电子温度可上万度，离子及中性离子可低至室温，即体系表观温度仍很低，故称“低温等离子体”，一般由气体放电产生。
低温等离子体技术是近年发展起来的废气处理新技术，低温等离子体处理废气的原理为：
当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在_短的时间内发生分解，以达到降解污染物的目的。
电场+电子 高能电子
受激电子
高能电子+分子（或原子） 受激分子 活性基因
自由基
活性基因+分子（或原子） 生成物+热
活性基因+活性基因 生成物+热
在本项目治理贵公司印刷废气，在介质阻挡放电（DBD）的低温等离子体发生器中，这些废气因子的苯环被高能电子轰击后首先被打开成碎片。
而尾气中氧气和水气在高能电子作用下发生下列反应
O2 ＋ e O＋ O3 + O2-
H2O + e HO＋ H
废气因子解离的碎片粒子与氧气及O?＋ O3 + O2-发生较为复杂的化学反应，降解为CO2和H2O等。
光等离子净化器性能
处理效果
低温等离子废气处理设备效率可以去除到90%
运行费用低
工业等离子废气净化设备采用_的蜂窝电场、卧式结构，阻力小。减少了风机的阻力，降低了运行费用；设备本身采用的高压控制系统和高压电源，转换效率高，耗电低。
维护方便
需要定时清洗的部件为可拆卸的模块化组合，这样既方便设备日常的清洗维护，也有利于这些部件的维修替换。
可升级性
设备都采用标准法兰连接的组合式结构，使设备具有可升级性。模块化净化单元可以灵活组合，根据不同的净化处理量及净化率要求，单元数量可作适应性调整。
占地面积小
设备的电源和设备在一起，无需另建电源控制室，节省厂房面积。
运行的持续性
采用分组供电的方式；即使某一组电场放电或故障，其他组还可以正常工作，不影响设备的运行，_设备运行的持续性。
设计周密
高电压电源精心设计成环氧树脂严密封闭的单元体，采用分组供电、分组控制，使用安全可靠。
安全性
设备配有防火网、防火阀、温度检测系统、消防灭火系统，确保设备安全稳定运行。带芯片控制的高压控制电路、带PLC的智能低压控制。可实现安全、可靠和智能化运行。

1、治理油烟粉尘领域
大型火力发电厂、卷烟厂、纺织厂、印刷厂、造纸厂、钢铁厂、水泥厂等产生的二氧化硫、粉尘、油烟等。
2、治理废气、异味气体领域
如污水、垃圾处理厂、泵站、石化厂、化工厂、制药厂、卷烟厂、香精厂 、屠宰场等领域产生的各类恶臭、异味气体等。
3、空气净化方面
如医院、餐饮、宾馆、车船，航空候车室等公共场所、及办公室、家庭、轿车、实验室等产生的甲醛、苯、氨、等有毒气体及微生物、悬浮颗粒物等。

光等离子净化器应用案例
项目：山西某化工有限公司废气治理工程
处理风量：20000m3/h；
设备配置：DLZ-20000型光等离子净化器一台；